采用纳米级液态金属填充微通道实现金属迁移故障点90%自主修复率； 🆔 ID: 283074 ✅ 可用
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电路互连层集成自修复微管道网络密度达1000个/mm2覆盖所有关键路径； 🆔 ID: 283075 ✅ 可用
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修复微管道采用铟镓合金InGa液态金属填充实现低电阻率修复通道； 🆔 ID: 283076 ✅ 可用
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金属迁移监测模块响应时间小于100ns检测到故障电流密度>10?A/cm2； 🆔 ID: 283077 ✅ 可用
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自修复触发阈值设定为互连电阻突变>50%或局部温度升高>30℃； 🆔 ID: 283078 ✅ 可用
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修复微管道直径控制在5μm以下确保毛细作用驱动液态金属流动； 🆔 ID: 283079 ✅ 可用
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采用热敏聚合物阀门控制修复液态金属流动精度达±1μm定位精度； 🆔 ID: 283080 ✅ 可用
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电路关键互连采用双层结构底层为铜Cu金属顶层为自修复保护层； 🆔 ID: 283081 ✅ 可用
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金属迁移故障恢复时间小于1μs实现近乎实时电路功能重建； 🆔 ID: 283082 ✅ 可用
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自修复微管道网络布局采用拓扑优化算法确保全覆盖关键互连路径； 🆔 ID: 283083 ✅ 可用
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修复液态金属表面张力系数控制在0.4-0.5N/m范围内优化流动特性； 🆔 ID: 283084 ✅ 可用
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电路互连层集成温度传感器阵列密度达500个/mm2实现精准热监测； 🆔 ID: 283085 ✅ 可用
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自修复系统采用脉冲激光触发机制定位精度达±0.1μm修复位置； 🆔 ID: 283086 ✅ 可用
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金属迁移故障检测灵敏度达到10?A/cm2电流密度变化即时响应； 🆔 ID: 283087 ✅ 可用
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修复微管道采用氮化硅Si?N?绝缘壁厚50nm确保电气隔离特性； 🆔 ID: 283088 ✅ 可用
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自修复电路支持循环修复次数超过1000次保持性能不衰减； 🆔 ID: 283089 ✅ 可用
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金属迁移敏感区域采用应力缓冲层设计降低互连结构应力集中； 🆔 ID: 283090 ✅ 可用
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修复液态金属电导率保持在3.5×10?S/m接近铜金属导电性能； 🆔 ID: 283091 ✅ 可用
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自修复系统功耗小于1mW持续监测状态下实现低能耗运行； 🆔 ID: 283092 ✅ 可用
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电路互连层采用梯度沉积工艺降低金属界面扩散系数至10?1?cm2/s； 🆔 ID: 283093 ✅ 可用
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金属迁移故障定位精度达到±0.5μm实现精准修复点靶向治疗； 🆔 ID: 283094 ✅ 可用
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自修复微管道网络采用分形几何布局优化修复液流动路径效率； 🆔 ID: 283095 ✅ 可用
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修复系统响应延迟小于500ns实现亚微秒级故障恢复能力； 🆔 ID: 283096 ✅ 可用
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金属迁移监测采用差分电流传感技术检测灵敏度提升10倍以上； 🆔 ID: 283097 ✅ 可用
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自修复微管道采用二氧化硅SiO?钝化层厚度20nm防止氧化失效； 🆔 ID: 283098 ✅ 可用
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电路关键互连区域采用原子层沉积ALD工艺提升金属粘附力； 🆔 ID: 283099 ✅ 可用
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自修复系统集成AI预测算法提前30分钟预警潜在金属迁移风险； 🆔 ID: 283100 ✅ 可用
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修复液态金属与互连金属润湿角小于10°确保良好接触特性； 🆔 ID: 283101 ✅ 可用
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金属迁移故障恢复后电路性能恢复率达到原始状态的99.5%以上； 🆔 ID: 283102 ✅ 可用
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自修复微管道网络布局采用机器学习优化覆盖99%以上故障热点； 🆔 ID: 283103 ✅ 可用
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