采用分子束外延(MBE)技术在硅(100)衬底上生长20nm砷化镓(GaAs)外延层,Ⅲ-Ⅴ族束流比Ga:As=1:1.2,衬底温度580°C,生长速率0.5μm/h,结晶质量XRD半高宽(FWHM)80arcsec,界面粗糙度Ra<0.2nm 🆔 ID: 197594 ✅ 可用

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在蓝宝石(0001)衬底上生长15nm氮化镓(GaN)缓冲层,TMGa束流1.2×10??Torr,NH?束流8×10??Torr,衬底温度1050°C,V/Ⅲ比=1000,应力释放裂纹密度<1条/cm2,二维电子气迁移率1500cm2/V·s 🆔 ID: 197595 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在锗(111)衬底上生长5nm应变硅(SiGe)量子阱,Si束流8×10??Torr,Ge束流1.6×10??Torr,衬底温度450°C,Ge组分25%,量子阱厚度均匀性<1%,带隙调控范围0.1-0.3eV 🆔 ID: 197596 ✅ 可用

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在碳化硅(0001)衬底上生长10nm氮化铝(AlN)成核层,TMAl束流5×10??Torr,NH?束流3×10??Torr,衬底温度1100°C,生长速率0.1μm/h,界面缺陷密度<1×10?cm?2,热导率200W/m·K 🆔 ID: 197597 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在砷化镓(100)衬底上生长8nm铟镓砷(In?.?Ga?.?As)量子点,TMIn束流3×10?1?Torr,TMGa束流6×10??Torr,As?束流1×10??Torr,衬底温度500°C,密度5×10?cm?2,尺寸均匀性<5%,发光波长1300nm 🆔 ID: 197598 ✅ 可用

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在硅(111)衬底上生长12nm锗锡(Ge???Sn?)合金层,x=0.1,TMGe束流1×10??Torr,TMSn束流1×10??Torr,衬底温度300°C,应变值0.5%,载流子迁移率2000cm2/V·s,红外吸收边拓展至2.5μm 🆔 ID: 197599 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在氮化镓(0001)衬底上生长3nm铝镓氮(Al?.?Ga?.?N)势垒层,TMAl束流4×10??Torr,TMGa束流8×10??Torr,NH?束流5×10??Torr,衬底温度1000°C,极化电荷密度1.5×1013cm?2,二维空穴气浓度5×1011cm?2 🆔 ID: 197600 ✅ 可用

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在金刚石(111)衬底上生长5nm氮化硼(h-BN)绝缘层,B束流2×10??Torr,N束流6×10??Torr,衬底温度800°C,生长速率0.05μm/h,介电常数4.5,击穿场强8MV/cm,用于高频电子器件 🆔 ID: 197601 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在磷化铟(100)衬底上生长6nm铟砷磷(In?.??Ga?.??As)量子阱,TMIn束流5×10??Torr,TMGa束流3×10??Torr,As束流8×10??Torr,衬底温度520°C,阱宽8nm,激子束缚能45meV,发光效率>90% 🆔 ID: 197602 ✅ 可用

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在硅(100)衬底上生长10nm锗(Ge)量子点阵列,TMGe束流4×10??Torr,衬底温度400°C,密度3×101?cm?2,尺寸分布15-20nm,用于单光子发射器,量子产率>50% 🆔 ID: 197603 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在氧化镁(111)衬底上生长2nm铬(Cr)自旋极化层,Cr束流1×10??Torr,衬底温度300°C,自旋极化率60%,磁矩5μB,用于磁隧道结顶部电极 🆔 ID: 197604 ✅ 可用

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在砷化镓(100)衬底上生长7nm铝镓砷(Al?.?Ga?.?As)限制层,TMAl束流3×10??Torr,TMGa束流7×10??Torr,As?束流9×10??Torr,衬底温度600°C,载流子限制效率>99%,内量子效率85% 🆔 ID: 197605 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在碳化硅(0001)衬底上生长4nm氮化镓(GaN)量子点,TMGa束流2×10??Torr,NH?束流3×10??Torr,衬底温度900°C,密度8×10?cm?2,发光波长360nm,用于深紫外光源 🆔 ID: 197606 ✅ 可用

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在硅(111)衬底上生长15nm磷化铟(InP)缓冲层,TMIn束流6×10??Torr,PH?束流1×10??Torr,衬底温度450°C,位错密度<1×10?cm?2,用于高频电子器件衬底 🆔 ID: 197607 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在锗(100)衬底上生长3nm硅(Si)量子点,TMSi束流2×10??Torr,衬底温度450°C,密度4×101?cm?2,尺寸均匀性<3%,用于量子计算比特 🆔 ID: 197608 ✅ 可用

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在氮化镓(0001)衬底上生长6nm铟镓氮(In?.?Ga?.?N)发射层,TMIn束流2×10??Torr,TMGa束流9×10??Torr,NH?束流6×10??Torr,衬底温度850°C,发光波长450nm,内量子效率>80% 🆔 ID: 197609 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在硅(100)衬底上生长9nm砷化铟(InAs)量子阱,TMIn束流4×10??Torr,TMAs束流7×10??Torr,衬底温度480°C,阱宽6nm,电子有效质量0.023m?,用于高速电子器件 🆔 ID: 197610 ✅ 可用

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在蓝宝石(0001)衬底上生长5nm氧化锌(ZnO)透明导电层,Zn束流5×10??Torr,O束流1×10??Torr,衬底温度500°C,载流子浓度1×101?cm?3,迁移率30cm2/V·s,透光率>90%@可见光 🆔 ID: 197611 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在砷化镓(100)衬底上生长4nm铝(Al)欧姆接触层,Al束流3×10??Torr,衬底温度400°C,接触电阻<1×10??Ω·cm2,用于高电子迁移率晶体管源漏电极 🆔 ID: 197612 ✅ 可用

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在碳化硅(0001)衬底上生长7nm氮化铝(AlN)高阻层,TMAl束流4×10??Torr,NH?束流3×10??Torr,衬底温度1100°C,电阻率>10?Ω·cm,用于高频器件绝缘隔离 🆔 ID: 197613 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在硅(111)衬底上生长11nm锗(Ge)量子阱,TMGe束流5×10??Torr,衬底温度420°C,阱宽10nm,空穴迁移率1500cm2/V·s,用于高速光通信探测器 🆔 ID: 197614 ✅ 可用

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在磷化铟(100)衬底上生长8nm铟镓砷磷(In?.??Al?.??As)势垒层,TMIn束流5×10??Torr,TMGa束流3×10??Torr,TMAl束流4×10??Torr,As束流8×10??Torr,衬底温度550°C,导带偏移180meV,电子限制效率>95% 🆔 ID: 197615 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在锗(100)衬底上生长2nm铋(Bi)量子点,TMBi束流1×10??Torr,衬底温度250°C,密度6×101?cm?2,拓扑绝缘体特性,表面态费米能级钉扎,用于低能耗电子器件 🆔 ID: 197616 ✅ 可用

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在氮化镓(0001)衬底上生长5nm铟镓氮(In?.??Ga?.??N)量子阱,TMIn束流2×10??Torr,TMGa束流8×10??Torr,NH?束流5×10??Torr,衬底温度800°C,发光波长520nm,高亮度发光二极管应用 🆔 ID: 197617 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在砷化镓(100)衬底上生长6nm铝镓砷(Al?.?Ga?.?As)量子点,TMAl束流4×10??Torr,TMGa束流6×10??Torr,As?束流9×10??Torr,衬底温度550°C,密度3×10?cm?2,发光波长850nm,用于红外光源 🆔 ID: 197618 ✅ 可用

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在硅(100)衬底上生长13nm磷化铟(InP)量子点,TMIn束流6×10??Torr,PH?束流8×10??Torr,衬底温度500°C,尺寸均匀性<4%,用于单电子晶体管,库仑阻塞效应明显 🆔 ID: 197619 ✅ 可用

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使用分子束外延(MBE)在碳化硅(0001)衬底上生长3nm氮化铝(AlN)成核层,TMAl束流3×10??Torr,NH?束流2×10??Torr,衬底温度1000°C,界面能垒>1.5eV,用于高质量氮化镓外延生长基础 🆔 ID: 197620 ✅ 可用

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在锗(111)衬底上生长9nm硅锗(Si???Ge?)应变层,x=0.3,TMGe束流1×10??Torr,TMSi束流7×10??Torr,衬底温度400°C,应变值1.2%,空穴迁移率3000cm2/V·s,用于高频晶体管 🆔 ID: 197621 ✅ 可用

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采用分子束外延(MBE)技术在硅(100)衬底上生长4nm二硫化钼(MoS?)二维材料,Mo束流1×10??Torr,S束流3×10??Torr,衬底温度350°C,层数1-3层,带隙1.8eV,用于柔性电子器件 🆔 ID: 197622 ✅ 可用

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在氮化镓(0001)衬底上生长7nm铝镓氮(Al?.?Ga?.?N)电子阻挡层,TMAl束流5×10??Torr,TMGa束流6×10??Torr,NH?束流4×10??Torr,衬底温度950°C,极化场强度2.5MV/cm,电子泄漏电流<1×10??A/cm2 🆔 ID: 197623 ✅ 可用

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