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如何用AI在半导体晶圆厂中预测光刻机维护窗口并减少停机？ 热门官方

更新于2025/11/30 12:55:52
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基于设备振动与温度趋势，用寿命预测 prompt 输出最佳维护时间，避开生产高峰，提高设备可用率。
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